蒸鍍機系列-FS380

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                                    產品參數

                                    整機尺寸 ≤1.1(L)×0.9(W)×2(H)(單位:M)

                                    極限真空 ≤3×10 -5Pa 保壓12小時 壓強≤5P a

                                    膜厚均勻性 ≥95% 重復性 ≥95%

                                    基片尺寸 ≤32×32mm 數量4片

                                    有12個mask位置 每個基片對應3個位置


                                    適用范圍

                                    鈣鈦礦材料、二維材料、光伏太陽能電池及OLED器件制備等。


                                    產品特色

                                    小方塊.jpg 高集成設計,整體尺寸小,操作系統在工控機或觸摸屏界面完成。

                                    小方塊.jpg 恢復工作真空快,大氣至5.0x10-4Pa≤15分鐘。

                                    小方塊.jpg 有8組蒸發源,可雙源共蒸,真空環境可更換2次mask。

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