蒸鍍機系列-FS500

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                                    產品參數

                                    整機尺寸 ≤1.2(L)×0.9(W)×2(H)(單位:M)

                                    極限真空 ≤2×10 -5Pa 保壓12小時 壓強≤5P a

                                    膜厚均勻性 ≥95% 重復性 ≥95% 速率穩定性≥95%

                                    基片尺寸 ≤40×40mm 數量6片

                                    ≤50×50mm 數量4片

                                    有12個mask位置 每個基片對應3個位置


                                    適用范圍

                                    OLED材料驗證、光電器件結構優化等。


                                    產品特色

                                    小方塊.jpg 膜厚均勻性高,重復性強,速率穩定性高。

                                    小方塊.jpg 有16組蒸發源,可做到4源共蒸。

                                    小方塊.jpg 蒸鍍器件效率高,壽命長,可滿足頂發射器件制備要求。

                                    小方塊.jpg 占地面積小,使用成本低,維護成本低,性價比高。

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