蒸鍍機-FS-G1-6

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                                    產品定位

                                    中試線


                                    適用范圍

                                    OLED材料量產前驗證、微顯示器件的生產等。


                                    核心技術

                                    真空密封技術、高精密對位技術、膜厚及真空壓力精確控制技術。


                                    產品特色

                                    小方塊.jpg 一體化程度高,適配性強,采用團簇式結構,可對接多種功能的設備。

                                    小方塊.jpg 智能性強,操作系統植入誤操作互鎖程序,可避免操作失誤。

                                    小方塊.jpg 效率高,采用較大容積的坩堝和雙探頭設計,避免了經常性的開腔添加材料和更換晶振片。

                                    小方塊.jpg 可實現自動取放基片以及更換mask。

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